VIRTUAL AV-5000-MW8真空晶圓吸筆采用ADJUST-A-VAC? Elite精英型可調(diào)吸力電動(dòng)泵,可產(chǎn)生10英寸汞柱真空,根據(jù)被吸物體薄厚脆弱程度轉(zhuǎn)動(dòng)旋鈕調(diào)節(jié)吸力大小避免破碎,能安全拾取轉(zhuǎn)移100μm厚度左右減薄晶圓,配備VMWT-C 8寸PEEK吸筆頭用于吸取轉(zhuǎn)移Wafer硅片,面板10段條形圖顯示真空度狀態(tài)提示安全操作,吸筆頭可拆換4、6、8、12英寸。
美國(guó)VIRTUAL公司專業(yè)開(kāi)發(fā)手動(dòng)、電動(dòng)吸取搬運(yùn)處理工具,包括IC芯片吸筆、真空吸球、電動(dòng)吸筆機(jī)、PEEK吸筆頭、微型吸筆頭及硅膠吸盤(pán),被潔凈室工作人員、半導(dǎo)體制造商、電子產(chǎn)品組裝線及研究機(jī)構(gòu)廣泛使用。Virtual ADJUST-A-VAC® Elite AV-5000真空晶圓吸筆具有可調(diào)式電動(dòng)泵,10英寸汞柱真空度,10段條形圖顯示當(dāng)前真空壓力,通過(guò)旋鈕調(diào)整吸力大小,安全吸取100µm厚度晶圓等薄脆物體避免因吸力過(guò)大導(dǎo)致破損、或真空泄漏導(dǎo)致產(chǎn)品掉落。AV-5000-MW8電動(dòng)真空晶圓吸筆配有8寸PEEK聚醚醚酮材質(zhì)Wafer吸筆頭VMWT-C,筆頭可拆卸更換,應(yīng)對(duì)4英寸、6寸、8寸及12寸晶圓處理。
長(zhǎng)壽命隔膜電動(dòng)泵提供10英寸汞柱真空度,可通過(guò)旋鈕調(diào)整大小
10段條形圖顯示真空壓力,防止真空泄漏導(dǎo)致產(chǎn)品掉落,以最小的吸力吸住物體,保護(hù)脆而易碎硅晶圓芯片
安全處理搬運(yùn)非常薄或精細(xì)的基材、Wafer晶圓、MEMS器件和其它脆弱元件
可選配VMWT-A 4英寸、VMWT-B 6寸、VMWT-C 8寸、VMWT-D 12寸及VWT5R-AR圓形12寸晶圓吸筆頭
Virtual AV-5000-MW8真空晶圓吸筆配有八寸吸筆頭8 Inch Molded PEEK Wafer Tip,前端筆頭可更換
真空端口集成了可更換的入口過(guò)濾器,保護(hù)工具免受灰塵顆粒的影響
接地三線電源線,提供110V或220V電源版本,可根據(jù)應(yīng)用選配吸筆頭及吸盤(pán)組合
AV-5000-MW8-220晶圓吸筆符合Class 100潔凈室等級(jí)要求,ESD防靜電安全,主機(jī)帶橡膠防滑腳
VIRTUAL真空吸筆規(guī)格說(shuō)明書(shū)http://m.oznappies.com/download/201804/Virtual_WVE-9000_AV-5000.pdf
美國(guó)VIRTUAL AV-5000晶圓吸筆操作演示視頻
一、ADJUST-A-VAC® ESD主機(jī),吸力大小可調(diào),芯片、平面小物體元件吸取
AV-6000-110(電源110V)、AV-6000-220真空吸筆(電源220V):主機(jī)、筆桿及1.5米氣管、VCS-9-B吸筆頭組
AV-6000-FS-110、AV-6000-FS-220套裝:比基本型AV-6000多加一個(gè)腳踏控制開(kāi)關(guān)
AV-6000-SP8-BD-110、AV-6000-SP8-BD-220含微型吸筆頭套裝:多加VSPT-TIPS-8-BD 8個(gè)小筆頭0.1mm~1mm
AV-6000-FS-SP8-BD-110、AV-6000-FS-SP8-BD-220:多加腳踏開(kāi)關(guān)及8個(gè)微型吸針筆頭組
二、ADJUST-A-VAC® Elite主機(jī),精英型,旋鈕調(diào)整真空度大小,WAFER晶圓吸取轉(zhuǎn)移專用
AV-5000-MW8-110、AV-5000-MW8-220八寸真空晶圓吸筆,包含如下附件:
• ADJUST-A-VAC® Elite精英型可調(diào)電動(dòng)吸筆機(jī)
• COILED-VACUUM-HOSE-6(VCH-2.5MM-6-BLK),黑色繞式6英尺/1.8米連接氣管,內(nèi)徑2.5mm
• PUSH-BUTTON-VACUUM-PEN (VVP-200-2.5MM) ,2.5mm接口大型按鈕式吸筆桿
• MOLDED PEEK WAFER TIP(VMWT-C),8寸PEEK晶圓吸筆頭
• 3 WIRE POWER CORD 三線電源線
選配件
VF-40M-5過(guò)濾器:一組5個(gè),40微米可更換過(guò)濾片
VMWT-A 4寸晶圓吸筆頭:Recommended for handling up to 4” (100mm) wafers
VMWT-B 6寸PEEK吸筆頭:Recommended for handling up to 6” (150mm) wafers
VMWT-C、VMWT-C30D彎頭晶圓吸筆頭8寸:Recommended for handling up to 8” (200mm) wafers
VMWT-D 10~12寸晶圓PEEK吸筆頭:Recommended for handling larger sized wafers
VWT-5R 12寸圓形吸筆頭:handles up to 12” (300mm) wafers,Displays, Glass, Solar Cells
特氟龍涂層吸筆頭:VWT-100075PF、VWT-170110PF、VWT-250125PF
其它Virtual晶圓真空吸筆
便攜式口袋造型,電池式供電,一次性電池:
V3200-CLN-MW4-2.5mm、V3200-CLN-MW6-2.5mm、V3200-CLN-MW8-2.5mm
便攜式筆式造型,可充電電池:
VPW6300AR-MW4、VPW6300AR-MW6-220、VPW6300AR-MW8-220、VPW6300AR-VWT5R-220-AR
可拆卸更換電池——VPWE7300AR-MW6-220、VPWE7300AR-MW8-220精英型
臺(tái)式電動(dòng)真空吸筆機(jī)(吸力大小固定不可調(diào)):
基礎(chǔ)型WV-9000-MW8-220 8寸晶圓吸筆,WAFER-VAC® ELITE精英型WVE-9000-MW8晶圓吸筆帶真空度顯示